Молибдентын гадаргууд нанолитографи хийх технологи
Салбар : Инженерийн ухаан, технологи
Төслийн дугаар :
Төслийн төрөл : Докторын дараах инноваци
Хугацаа: 2016-2017
Санхүүжилт: 10,000.0 мян.төг
Түлхүүр үг : Механик хуулалтын арга, хоёр хэмжээст материал, идүүлэлт, ислийн үе
Үр дүн
1. Механик хуулалтын аргаар молибденитын дан үеийг гаргаж оптик болон атомын хүчний микроскоп, Раман спектроскоп болон фотолюминесценцийн аргуудаар баталгаажуулав.
2. Атомын хүчний микроскопын зүүний гадаргуугаас алслагдах байршлаас хамаарч орчны харьцангуй чийгшил 50-70% байх тохиолдолд литограф амжилттай явагддаг болохыг тогтоов.
3. Судалгааны ажлын үр дүнгээс үзвэл литографийн процесс үр дүн сайтай явагдах хурдны утга 1.0мкм/с, зүү болон суурины хоорондох хүчдэл сөрөг 10-11В болох нь тогтоогдов.
4. Литографийн дараа литографийн ул мөрийг арилгах зорилгоор идүүлэлт хийх бөгөөд молибденитын цөөн үеийн литографийн дараах идүүлэлтийг 0.05 M HCl-ийн уусмалаар 10 секунтын хугацаанд идүүлэлт хийхэд дээж алга болохгүй бөгөөд суурь хүртэл идэгдэхгүй болохыг тогтоов.
5. Энэхүү судалгааны ажилд нанометрийн түвшинд MoS2 ширхэгүүдэд литографи хийх шинэ технологийн горимыг боловсруулсан болно. Энэ горим нь атомын хүчний микроскопын хэмжилтээр баталгаажсан.
6. Хэмжилтийн үр дүнгээс үзвэл литографийн процессийн үед OH--ийн үе давхарга үүсэлгүйгээр литографийн зурвас үүссэн нь дээрх ионууд нь молибденитын гадаргуугаас хүхрийн атомуудыг “бөмбөгдсөн” болох нь тогтоогдов.
7. Энэ технологийг ашиглан MoS$_2$-ийн цөөн үеийн “хиймэл” ирмэг үүсгэн өмнө нь гарган авсан ширхэгийг дахин хуулах боломжтой тул "Механик хуулалтын" аргаар гарган авсан нимгэн дээжний зузааныг дахин бууруулах боломж бүрдсэн.
8. Суурин дээр 2D материал суулгахад агаарын молекулууд материалын завсарт сууж нэг үеийн зузааныг нэмэгдүүлдэг болохыг тодорхойлсон.
9. Гарсан үр дүнгээр Томсон Рейтерсын индекстэй сэтгүүлд 1, Мэргэжлийн сэтгүүлд 1, олон улсын хурлын эмхтгэлд 2 өгүүлэл, Гадаадад зохиогдсон ОУхуралд 1, дотоодод зохиогдсон Олон улсын хуралд 4, Үндэсний хэмжээний хуралд 1 илтгэл хэлэлцүүлсэн.